2025年1月29日,国家知识产权局公开了一项由联芯集成电路制造(厦门)有限公司申请的专利,名为“半导体结构的制作的过程”,专利公开号为CN119364840A。此项专利旨在解决半导体制造中的效率挑战,特别是通过创新的物理气相沉积(PVD)工艺,优化金属层的沉积过程,进而提升整体的生产效率及材料应用性能。
联芯集成电路制造(厦门)有限公司成立于2014年,注册资本达到1619779.4万元,是一家专注于计算机、通信和其他电子设备制造业的企业。此次专利的核心在于其提出的一种新方法,该方法有几个关键步骤:首先,在一种特殊配置的PVD室中,为半导体衬底的介电层及栅极沟槽沉积金属层。
具体地,此过程包括使用自动电容调谐器调节衬底的正射频(RF)偏压和负RF偏压的时间段。这种新型的调节模式,旨在提高金属层沉积的均匀性与质量,从而增强半导体器件的性能与可靠性。通过这种方法,联芯不仅仅可以降低生产所带来的成本,同时也有助于提升产品的市场竞争力,符合当前对高效、低能耗生产的市场需求。
在全球半导体产业面临产能不足及材料成本上涨的背景下,联芯此次的创新非常有可能为行业带来新一轮的技术变革。相比于传统的半导体制作技术,其新方法不仅简化了操作的过程,还提升了技术的灵活性,使得生产商可以依据市场需求快速调整生产策略。
此外,联芯的这一专利也预计将推动国内半导体设备制造技术的进步,提升自主品牌的科学技术实力和创造新兴事物的能力。随着未来A与5G技术的普及,半导体的应用场景范围将更广泛,对制造技术的要求也会慢慢的高。因此,掌握先进的制造技术,尤其是在层间沉积与材料选择上,将成为企业竞争力的关键。
随着专利的申请及未来可能的实际应用,联芯集成电路制造(厦门)有限公司将有可能在中国半导体领域中占据更重要的地位。通过进一步的技术创新与市场拓展,该公司不仅仅可以增强自身的技术储备,也为中国半导体行业的自主可控发展贡献力量。
在当前高科技加快速度进行发展的时代,掌握具有自主知识产权的核心技术,对每一个科技公司而言意义非凡。期待联芯在未来能够推出更多创新性的技术及产品,引领国内半导体产业的新篇章。
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